電子光學(xué)凈化工程
半導(dǎo)體無塵車間凈化裝修工程
來源：www.roempt.com 作者：空氣好凈化
發(fā)布時間:2021-06-25 10:49:04點(diǎn)擊:次
一、項目概況
項目名稱：半導(dǎo)體凈化車間裝修工程
項目規(guī)模：8000㎡
潔 凈 度：百級、千級、萬級、十萬級
項目地址：安徽合肥
二、設(shè)計及施工內(nèi)容
項目涉及設(shè)計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風(fēng)風(fēng)調(diào)系統(tǒng)工程、車間排風(fēng)系統(tǒng)工程、配電系統(tǒng)工程、工藝管道工程、給排水工程
三、設(shè)計規(guī)范及依據(jù)
業(yè)主提供的圖紙和技術(shù)文件及現(xiàn)楊勘察資料
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》
《電子工業(yè)沽凈廠房設(shè)計規(guī)范》
《沽凈廠房施工與驗收規(guī)范》
《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》
《建筑設(shè)計防火規(guī)范》
《潔凈廠房建筑構(gòu)造》
四、潔凈室系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
1、壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；
2、平均風(fēng)速：0.3－0.5m/s（百級）；
3、噪聲≤65dB（A）；
4、新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；
5、照度300LX；
6、溫度：20-26 度（車間），溫度：12-23度（測試）
7、濕度：50-70%RH（車間），濕度40-85%RH（測試）
8、潔凈度等級：百級－30萬級用于測試區(qū)域，千級－30萬級用于生產(chǎn)制造區(qū)域
9、ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容，靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。
五、半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計及注意事項
1、半導(dǎo)體凈化無塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進(jìn)，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕，空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開多久。
3、所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，凈化無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計或機(jī)臺擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃、細(xì)菌等在無塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會與時間減至最低程度。
4、半導(dǎo)體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺空壓所需要的，都得使用氮?dú)?98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。
在半導(dǎo)體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的重點(diǎn)難點(diǎn)外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應(yīng)等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。