無(wú)塵車間是屬于人造環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境（無(wú)塵車間）潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子的尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的生產(chǎn)運(yùn)作或降低其壽命。

由于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。

　無(wú)塵車間等級(jí)劃分：依據(jù)美國(guó)政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)，可將無(wú)塵車間分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)。

　　1級(jí)：這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。

　　10級(jí)：該級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。

　　100級(jí)：很多人認(rèn)為，這一級(jí)無(wú)塵車間是最常用因而是最重要的無(wú)塵車間，100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一潔凈室大量應(yīng)用于，植入體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。

　　1000級(jí)：這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。

　　10000級(jí)：萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

　　100000級(jí)：十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)別的無(wú)塵車間。