安徽集成電路制造無塵車間建設特點與技術規范
來源：www.roempt.com 作者：空氣好凈化
發布時間:2025-03-27 08:42:01點擊:次
一、環境控制的高標準要求
空氣潔凈度等級
核心光刻區需達到ISO 1級標準（每立方米≥0.1μm粒子數≤10個）
一般加工區維持ISO 3級標準（≥0.5μm粒子數≤1000個/m³）
采用ULPA超高效過濾器（U15級，過濾效率≥99.9995%）
溫濕度精密控制
溫度控制精度±0.1℃（22±0.1℃恒溫系統）
相對濕度控制±1%RH（45%±1%RH）
采用三級制冷系統（冷水機組+精密空調+FFU溫控模塊）
二、特殊建筑結構要求
防微振設計
核心設備區振動控制VC-D級（1-80Hz頻段≤1.5μm/s）
采用彈簧隔振基礎+氣浮平臺雙重減振
建筑結構振動傳遞損失≥30dB
電磁屏蔽系統
射頻屏蔽效能≥80dB（1MHz-10GHz）
接地系統阻抗≤0.5Ω
采用銅網屏蔽室+波導通風窗設計
三、超純介質供應系統
超純水系統
水質標準：電阻率≥18.2MΩ·cm，TOC≤1ppb
采用雙級RO+EDI+UV氧化+終端過濾工藝
管道系統：316L EP級不銹鋼，電拋光處理（Ra≤0.25μm）
特種氣體系統
氣體純度：電子級（99.9999%以上）
輸配系統：雙套管檢漏設計，VCR面密封連接
配置在線純度分析儀（ppb級檢測精度）
四、能耗與智能化管理
節能設計
熱回收系統（熱回收率≥70%）
變頻控制系統（風機能耗降低40%）
采用LED潔凈照明（能耗較傳統燈具低60%）
智能監控系統
實時監測2000+個數據點（包括粒子計數、分子污染等）
大數據分析預測設備維護周期
數字孿生技術實現虛擬調試
五、特殊防護措施
防靜電系統
地面電阻1×10^6~1×10^9Ω
工作服表面電阻≤1×10^10Ω
離子風機覆蓋率100%
化學污染控制
AMC（氣態分子污染）控制：酸、堿、碳氫化合物均<1μg/m³
化學過濾器效率≥95%
廢氣處理系統去除率≥99%
集成電路制造無塵車間建設周期通常需18-24個月，單位面積造價達3-5萬元/㎡。需通過SEMI S2/S8認證，并建立嚴格的變更控制程序。隨著制程進入3nm以下節點，環境控制正向分子級潔凈度方向發展，這對車間建設提出了更高要求。